| PECVD变结构腔室热流场耦合规律研究 |
| 黄尊地;常宁;杨铁牛;周玉林; |
| 关键词：真空半导体;热流场耦合;参数控制;变结构腔室 |
| 主要内容：在真空半导体产业中,等离子体增强化学气相沉积腔室内热流场耦合的参数控制是生产工艺过程决定产品质量的关键因素。通过变结构腔室内温度和压力耦合测量试验验证,得到正确可行的针对变结构腔室三维模型热流场耦合计算的仿真算法。对比试验结果,依次改变腔室 |
| 《真空科学与技术学报》 2016,36(11):1325-1333 |
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