| PEM老炼过程中的温度闭环控制系统 |
| 白冰;王伟明;李青峰;李路明; |
| 关键词：塑封微电路;老炼;可靠性;温度闭环控制 |
| 主要内容：当前,老炼仍被广泛应用于塑封微电路(PEM)的可靠性保证。为了解决老炼过程中存在的热失控及温度不一致的问题,该文设计了一套温度闭环控制系统。在由老炼箱自身装置提供箱内基础温度的基础上,设计的温度闭环控制系统以每个封装夹具内的微环境为控制对象 |
| 《清华大学学报(自然科学版)》 2016,56(03):294-298 |
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