| 半导体工艺实验室的建设与管理实践 |
| 黄展云;陈晖;谢德英;陈弟虎; |
| 关键词：工艺实验室;规范化;安全管理;绿色实验室 |
| 主要内容：以建设一条"硅工艺教学生产线"为目标,中山大学建立了半导体工艺实验室。详细介绍了实验室的建设现状,包括分区设置和仪器配备,结合微电子专业特点,开设了有关课程。从三方面详细阐述了该实验室的建设和管理实践,分别是:建设规范化实验室、建设安全实验 |
| 《实验室科学》 2016,19(06):205-208 |
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