| 薄膜电路制备中缓冲层对器件性能改善的研究 |
| 陈帅;邱颖霞;魏晓旻;郭育华;宋夏; |
| 关键词：薄膜;缓冲层;溅射 |
| 主要内容：利用磁控溅射法在氧化铝陶瓷上制备了Cu、Cr/Cu以及Cr/Cr-Cu/Cu,采用台阶仪、XRD、SEM以及半导体测试仪对薄膜的厚度、结构、表面形貌以及电学特性进行了表征与测试,采用胶带法对薄膜的附着力进行了测试。结果表明,Cr缓冲层的存在 |
| 《电子工艺技术》 2016,37(02):81-84 |
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