| 采用等离子干燥工艺提高镀膜附着强度稳定性 |
| 詹为宇; |
| 关键词：毫米波组件;薄膜电路;附着强度;等离子干燥;溅射;材料出气 |
| 主要内容：镀膜工艺设计应能有效脱附物理和化学吸附,才能保证附着强度工艺稳定性。设备运行后腔室内表面沉积物增加,通过分析变化影响探索出一种等离子干燥工艺方法,应用后提高了生产效率,保证了薄膜电路金属叠层间附着强度生产稳定性,满足产品工程应用的可靠性要求 |
| 《电讯技术》 2016,56(03):342-345 |
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