| 超大规模集成电路多孔电介质介电常数与分形维数 |
| 唐燕妮; |
| 关键词：超大规模集成电路(ultra large scaled integration; |
| 主要内容：技术的发展要求超大规模集成电路的特征尺寸进一步降低以提高元件密度,这就需要低介电常数(k)的多孔电介质的应用。而多孔介质的输运物理性质通常与其微结构有密切关系。本文在综述多孔电介质利用分形模型分析方法的基础上,利用分形几何理论,进一步把多孔 |
| 《电子测试》 2016,(21):54-55 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号