| 超低功耗高性能集成路器件与工艺基础研究立项报告 |
| 张兴;刘晓彦; |
| 关键词：集成电路技术;低功耗;逻辑器件;非易失存储器件;器件模型模拟;互连技术;工艺集成 |
| 主要内容：该研究将针对集成电路特征尺寸发展至16 nm及以下技术节点后所面临的关键科学问题,以在16 nm及以下技术节点集成电路技术拥有自主知识产权的若干关键核心技术和解决方案为目标,围绕纳米尺度下集成电路进一步发展所面临的核心矛盾;从材料体系、集成 |
| 《科技创新导报》 2016,13(08):171 |
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