| 超声电铸提高金属微流控芯片模具的均匀性 |
| 杜立群;杨彤;赵明;陶友胜;罗磊;王磊;刘冲; |
| 关键词：超声搅拌;微电铸;均匀性;微流控芯片模具;超声空化;声流 |
| 主要内容：利用微电铸技术制作的微流控芯片模具往往存在沉积厚度不均匀的缺陷,这种缺陷会影响模具的尺寸精度及使用性能,并增加模具的制作成本。为了制得厚度均匀的微流控芯片模具,研究了超声电铸对模具均匀性的影响。首先,采用有限元软件COMSOL Multip |
| 《强激光与粒子束》 2016,28(06):63-67 |
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