产业集群决策
 
大规模集成电路中激光技术的运用研究
 
李超;
关键词：大规模;集成电路;激光技术;应用研究
 
主要内容：在大规模集成电路中,激光技术在其中发挥着重要的作用。无解除加工是激光加工的主要特征,其能量密度大,光束直径小,加工质量可靠稳定,生产效率高。因此,在大规模的集成电路中,应该积极借鉴和应用该项技术。
 
《科技创新与应用》  2016,(23):155
全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp
Copyright © 广东省科技图书馆（广东省科学院信息研究所）  
粤ICP备05059360号-1 详细地址：广州市先烈中路100号        
联系电话：020-37656525 咨询邮箱：stlib@stlib.cn
  •  

  • 微信公众号

仿站