| 带辅助电极的大偏转角MEMS芯片设计 |
| 侯继东; |
| 关键词：光开关芯片;大偏转角;辅助电极;静电驱动 |
| 主要内容：本文对垂直梳齿结构应用于大偏转角的情况进行了回顾和分析,指出此类芯片可靠性方面先天性不足。提出一种带辅助电极的基于预置偏转角方法的新型芯片,该芯片不但工艺简单,而且采用商品SOI硅片,成本得以有效降低。由于辅助电极的引入,使芯片具有大偏转角 |
| 《电子科学技术》 2016,03(05):549-552 |
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