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电化学沉积设备在集成电路制造中的应用及发展现状

刘永进;

关键词：电化学沉积;集成电路;应用

主要内容：根据集成电路发展的趋势,分析了电化学沉积设备在集成电路行业的应用。通过及国外各主流设备的特点及国内设备的现状阐述,指出了国内在电化学沉积设备及技术方面,与国外水平存在巨大的差距。

《电子工业专用设备》 2016,45(11):4-6+25

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