| 动态气流下真空腔室内的压强分布及压差测量 |
| 周玉林;杨铁牛; |
| 关键词：真空腔室;压强测量;压差;均匀布气 |
| 主要内容：集成电路(IC)装备工艺腔室内流场的均匀性是影响镀膜质量的关键因素。本文通过控制真空腔室入口处N_2流量(140,230,320 mL/min(标准状态))和出气口处压强值(36,45,55 Pa)来设置实验,采用压力管法测量低压腔室内任一 |
| 《真空科学与技术学报》 2016,36(02):199-203 |
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