| 福禄克Tix660红外热像仪可对微米级别的目标进行检测 |
| 刘倩倩; |
| 关键词：红外热像仪;微米级;Tix660;福禄克; |
| 主要内容：微米级小芯片的检测一直是研发领域检测的难点,常见的热像仪可有效检测的最小目标通常为0.2mm以上,对于微米级别的芯片晶格和元器件来说,需要在像素和光学系统上均达到一定性能要求才可以准确检测。福禄克高端红外热像仪配套专用的微距镜头,可对最小3 |
| 《中国计量》 2016,(05):128 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号