| 高纯钽溅射靶材制备工艺进展 |
| 郑金凤;扈百直;杨国启;罗文;郑爱国; |
| 关键词：钽溅射靶材;熔炼铸锭法;粉末冶金法;制备工艺;进展 |
| 主要内容：目前高纯钽溅射靶材的制备方法,主要为熔炼铸锭法和粉末冶金法,文章对两种方法制备钽靶材性能的特点进行了详述,同时对粉末冶金法制备高纯钽靶材的试验结果进行分析。针对目前国内外生产状况,展望了未来高纯钽溅射靶材的发展方向。 |
| 《湖南有色金属》 2016,32(04):54-56+80 |
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