| 高密度等离子体淀积工艺对颗粒度的影响 |
| 顾梅梅;李洪芹; |
| 关键词：高密度等离子体;化学气相淀积;淀积工艺;颗粒度 |
| 主要内容：高密度等离子体(High Density Plasma,HDP)淀积工艺具有卓越的沟槽填充性能,广泛应用于深亚微米及更先进的集成电路制造的关键工艺环节.由于其淀积与溅射相结合的工艺特点,HDP中颗粒水平直接影响器件量产的良率与可靠性,是HD |
| 《上海工程技术大学学报》 2016,30(02):122-127 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号