产业集群决策
 
硅基微机械加工技术
 
于周顺;
关键词：硅基;微机械加工技术;应用
 
主要内容：就微电子机械系统而言,硅基微机械加工技术是其重要的实现技术之一。这种技术的应用是微电子机械系统形成良好性能的重要保障。本文从硅基微机械加工技术的种类入手,对这种加工技术的应用进行分析和研究。
 
《电子世界》  2016,(23):161
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