| 硅片方块电阻计量标准装置研制 |
| 郭守君;王酣;赵飞; |
| 关键词：方块电阻;双配置四探针法;计量标准装置 |
| 主要内容：对测量方块电阻的双配置四探针法进行了研究,从理论上分析了该方法的优点:测量结果与探针间距无关,可使用不等间距探针头,具有自动修正边界影响的功能,不必寻找修正因子,论述了RS大小样片及边界附近的测试原理,给出了RS的计算公式。研制了基于双配置 |
| 《国外电子测量技术》 2016,35(10):44-49 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号