| 厚膜电阻制造技术研究 |
| 尤广为;邹建安;肖雷; |
| 关键词：厚膜混合集成电路;厚膜电阻印刷;膜厚测量 |
| 主要内容：针对传统厚膜混合集成电路在厚膜电阻制造过程中存在厚膜电阻阻值离散性大、印刷效率低及产生大量试阻片浪费等问题,特对厚膜制造技术进行了研究。通过对厚膜电阻设计和制造原理进行分析,发现厚膜电阻印刷膜厚对其阻值至关重要,因此,决定采用厚膜电阻印刷膜 |
| 《新技术新工艺》 2016,(05):52-56 |
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