| 基于LTCC的微流道制作技术研究 |
| 刘俊超; |
| 关键词：微机电系统;LTCC;微流道 |
| 主要内容：在微机电系统的集成制造中,无源器件与多芯片的高密度集成对其承载基板的散热性能提出了极高的要求,而在LTCC基板中制作微流道则为满足这一要求提供了一种解决途径。提出了一种应用有机牺牲材料在LTCC中形成微流道的制作方法,实验结果表明该方法可有 |
| 《机械》 2016,43(06):22-27 |
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