| 基于大数据分析的半导体工艺的良率提升研究 |
| 陆健;杨冬琴;黄倩露;王强;赵苏华; |
| 关键词：大数据;半导体工艺;良率;系统性问题;晶圆 |
| 主要内容：基于大数据分析的失效分析技术,研究了制约先进集成电路良率的系统性问题方法.应用Yield Explorer分析软件对集成电路测试结果进行基于大规模的统计分析的再诊断.根据晶圆的针测结果,利用Yield Explorer的大量自动诊断功能,选 |
| 《南通大学学报(自然科学版)》 2016,15(04):17-21+37 |
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