| 基于工艺参数扰动的IC参数成品率多目标优化算法 |
| 李鑫;孙晋;肖甫;田江山; |
| 关键词：可制造性设计;参数成品率;统计建模;多目标优化;帕累托最优 |
| 主要内容：在芯片制造工艺中,参数扰动影响了集成电路(Integrated Circuit,IC)成品率,使不同参数成品率间存在着此消彼长的相互制约关系,而目前IC参数成品率优化算法却主要局限于单一优化目标问题.本文提出一种基于工艺参数扰动的参数成品率 |
| 《电子学报》 2016,44(12):2960-2966 |
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