| 基于扰动观测器的固化炉温度解耦控制 |
| 王鑫;沈平;张兴宇; |
| 关键词：固化炉;最小二乘法;扰动观测器;解耦控制 |
| 主要内容：固化炉是微电子制造过程的重要设备,它内部的温度分布具有大时滞、强耦合、非线性的特点。针对固化炉温度模型复杂和加热板热效应耦合的问题,将最小二乘法及阶跃响应法相结合,在工作点附近对固化炉温度建立一阶惯性延时模型,基于扰动观测器(disturb |
| 《计算机工程与应用》 2016,52(22):260-265 |
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