| 基于声表面波微流转换微器件研究 |
| 章安良;张小权;胡文艳;付相庭; |
| 关键词：压电基片;印刷电路板;声表面波;微流转换;微通道 |
| 主要内容：提出了压电基片上液滴转换为微通道内微流体的方法。在128°YX-LiNbO3基片上采用微电子工艺制作两叉指换能器,软光刻工艺制作聚二甲基硅氧烷(PDMS)微通道,镂空印刷电路板,内嵌压电子器件和微通道。两叉指换能器激发声表面波控制液滴与带细 |
| 《压电与声光》 2016,38(04):515-518 |
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