| 基于原子扩散的蓝宝石芯片键合技术研究 |
| 吴亚林;王世宁;曹永海;王伟;史鑫; |
| 关键词：蓝宝石芯片;原子扩散;直接键合 |
| 主要内容：本文基于原子扩散理论模型,试图介绍一种蓝宝石芯片直接键合技术,给出一定扩散距离下键合温度与键合时间的关系;开展了蓝宝石芯片键合的试验研究;初步制作了键合样品。经测试,键合强度达到0.5 MPa,验证了蓝宝石芯片直接键合的可行性。 |
| 《中国电子科学研究院学报》 2016,11(02):178-181 |
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