| 基于直线电机驱动的芯片检测定位控制系统研究 |
| 黄锐;王庭有;李应春; |
| 关键词：U型直线电机;定位系统;控制系统 |
| 主要内容：芯片在封装过程中可能存在金线断裂,封装开裂等内部损伤,通常需要进行内部探伤来检测其是否合格。由于芯片内部元件以及线路极其精密,因此对检测系统的驱动定位系统也要求具有极高的精度。文章基于U型直线电机高精度的特点,设计了由U型直线电机驱动的超声 |
| 《价值工程》 2016,35(32):140-141 |
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