| 激光电压探测及成像技术在失效分析中的应用 |
| 陈礼清;赵瑞豪;孙明圣;林光启;苏科;胡启誉;贾辉; |
| 关键词：激光电压探测;成像技术;时序逻辑电路;失效分析;标准单元 |
| 主要内容：针对传统失效定位技术如光辐射显微镜(EMMI)、光束感生电阻变化(OBIRCH)和红外成像等无法追踪时序逻辑电路内部的传输信号、失效位置定位偏差大等问题,介绍了一种激光电压探测及成像的失效分析技术。首先对晶圆扫描分析系统及激光电压探测成像技 |
| 《半导体技术》 2016,41(11):875-880 |
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