| 集成电路BCD七段译码器抗静电技术 |
| 薛建国; |
| 关键词:ESD;版图;圆角型结构;氢氧合成掺氯氧化 |
| 主要内容:本文介绍了集成电路(IC)静电损伤的原因,静电损伤出现的失效模式主要有输入结击穿、软击穿、漏电流增大。芯片输入端的二极管被静电击穿导致电路失效。通过集成电路BCD七段译码器抗静电(ESD)版图设计及工艺改进,使器件抗静电电压达到2500V以 |
| 《科技展望》 2016,26(22):103-104 |
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