| 集成电路的失效分析方法以及相应技术分析 |
| 高乘源; |
| 关键词：集成电路;电性分析;失效分析;物理分析;方法;技术 |
| 主要内容：伴随着科学技术在我国不断地发展以及应用,集成电路在我国有了非常广泛的应用和发展。我国集成电路现在已经向着尺寸更小的方向发展,具有了集成程度非常高的技术。伴随着集成电路在我国的不断应用,集成电路应用中的失效分析变得越来越重要。集成电路的芯片上 |
| 《中国新技术新产品》 2016,(17):83 |
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