| 集成微系统概念和内涵的形成及其架构技术 |
| 代刚;张健; |
| 关键词：集成微系统;频谱开发;小型化;智能化;三维集成;异构集成 |
| 主要内容：介绍了集成微系统概念与内涵的发展历程,从小型智能化和频谱开发两个方面总结了集成微系统技术的重要应用,分析了国内外集成微系统架构技术的研究进展。最后,简单介绍了高压高频光机电异构集成微系统技术,这是集成微系统中起点高、难度大、富有特色的一个重 |
| 《微电子学》 2016,46(01):101-106 |
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