| 几种光产酸剂的合成与产酸性能研究 |
| 李金亮; |
| 关键词：光产酸剂;合成;产酸率 |
| 主要内容：综述了几种不同类型光产酸剂合成反应及产酸性能研究,包括三嗪类化合物的合成、鎓盐类化合物和苯磺酸酯类化合物的合成及产酸性能研究。通过对比,得出不同类型的光产酸剂在不同溶剂中,不同波长下的光源曝光产酸率不同,可应用于不同的光致抗蚀剂体系。 |
| 《广州化工》 2016,44(09):38-39+94 |
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