| 教研资源共享的“微电子工艺实验”改革 |
| 廖荣; |
| 关键词：微电子工艺实验;薄膜场效应晶体管;教学改革;流水实验 |
| 主要内容：为了加强学生对微电子制造过程的感性认识和对学科特点的认知,在原有的微电子平面工艺实验的基础上,对"微电子工艺实验"教学模式进行改革,引入氧化锌基薄膜场效应晶体管工艺制造技术及半导体测试分析实验,使教学与科研资源共享,建立了由教学内容的准备、 |
| 《实验科学与技术》 2016,14(03):108-109+170 |
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