| 金属互连线电迁移过程中的高温蠕变行为研究 |
| 崔海坡;邓登; |
| 关键词：蠕变;互连线;电迁移;影响规律;有限元分析;失效 |
| 主要内容：基于ABAQUS有限元分析软件,对金属互连线的蠕变行为进行了研究,获取了高温下的蠕变应力分布云图,并分析了不同温度、不同升温速率等参数对铝硅合金互连线蠕变行为的影响规律。结果表明:在温度载荷作用下,铝硅合金互连线的蠕变应力在互连线狭窄部位即 |
| 《电子元件与材料》 2016,35(01):37-39 |
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