| 面向即时检测芯片超声波精密键合的熔接结构及工艺参数 |
| 刘冲;周利杰;梁超;李经民; |
| 关键词：即时检测芯片;超声波键合;熔接结构;通道高度;工艺参数 |
| 主要内容：针对芯片即时检测(POCT)芯片对键合精度、键合强度、生产效率和生物兼容性的要求,基于超声波键合技术设计了结构化的导能筋布置形式和阻熔导能接头结构。研究了超声波键合时间和键合压力对微通道高度保持性能的影响,确定了精密超声波键合工艺参数。利用 |
| 《光学精密工程》 2016,24(05):1057-1064 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号