| 纳米集成电路互连线建模和光刻仿真中的大规模并行计算方法 |
| 朱恒亮;曾璇;崔涛;严昌浩;张林波; |
| 关键词：大规模集成电路;建模;寄生参数提取;光刻工艺;有限元方法;随机行走方法 |
| 主要内容：集成电路规模庞大、结构复杂,随着集成电路制造工艺进入纳米尺度,复杂制造工艺中的工艺波动严重影响电路性能,给集成电路设计带来了巨大的挑战.集成电路互连线建模与光刻仿真涉及大规模Maxwell方程的数值求解,计算复杂度高、规模庞大.本文主要综述 |
| 《中国科学:信息科学》 2016,46(10):1372-1391 |
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