三维集成电路硅通孔热特性的COMSOL模型
 
赵朋;林洁馨;傅兴华;

关键词:三维集成电路;硅通孔;散热问题;COMSOL模型
 
主要内容:利用COMSOL软件建立了三维集成电路散热模型并进行仿真。仿真结果显示,在元胞块之间插入TSV网络可以有效将三维集成电路温度控制在一个安全范围之内,而且随着TSV半径的增大,三维集成电路散热效果更好。
 
《唐山学院学报》  2016,29(03):41-46
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