| 石墨烯转移工艺对功率芯片绝缘层的影响 |
| 洪国东;戴立新;冯立康;王政留; |
| 关键词：石墨烯;绝缘;转移工艺 |
| 主要内容：随着微电子产品高性能、微型化、多功能化的发展需求,电子器件及应用发展迅速,新兴技术给电子产品的热管理带来了极大挑战。石墨烯由于其极高的横向热导率,有希望成为下一代电子器件散热材料的最佳选择。然而,由于石墨烯的超薄尺寸,应用于功率芯片表面进行 |
| 《电子世界》 2016,(20):101-102 |
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