| 使用传输线理论的硅通孔电参数提取方法 |
| 周子琛;申振宁; |
| 关键词：三维集成电路;通硅孔;电参数提取;传输线理论 |
| 主要内容：针对三维集成电路中的关键技术硅通孔的电特性,使用传输线理论提取了其单位长度RLGC参数。将硅通孔等效为传输线,利用HFSS仿真结果并结合传输线理论给出了具体的参数提取方法。计算结果表明,硅通孔单位长度RLGC参数呈现较强的频变特性,当频率从 |
| 《电讯技术》 2016,56(12):1405-1408 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号