| 太赫兹用石英基板微带电路制作工艺技术 |
| 白浩;王平;张晶; |
| 关键词：石英;太赫兹;微带电路;薄膜工艺 |
| 主要内容：随着卫星应用频段提高到毫米波甚至太赫兹频段,常规陶瓷基材在损耗、表面状态上的不足已非常突出,石英基材将成为星载微波电路板的首选。但由于石英基材自身的特点以及高频段应用的特殊要求,石英基材微带电路的制作技术在国内还不成熟。文章通过对石英基板材 |
| 《太赫兹科学与电子信息学报》 2016,14(01):23-25 |
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