| 提取共面微波探针S参数的方法 |
| 吴爱华;楼红英;刘晨;孙静;梁法国; |
| 关键词：共面波导;微波探针;裸芯片;S参数 |
| 主要内容：共面微波探针是裸芯片测量信号输入/输出的重要媒介,通过与晶圆片物理接触,建立起测量系统与芯片之间的信号连接通道。为了获得共面微波探针完整准确的S参数,设计并实现了"两步法"测量方案,首先在同轴端口进行校准,然后在探针尖端口进行第二步校准。通 |
| 《微波学报》 2016,32(02):35-38 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
微信公众号