| 椭圆柱TSV传输结构的性能研究 |
| 李晶晶;缪旻; |
| 关键词:系统级封装;硅通孔;GS(地—信号)传输结构 |
| 主要内容:针对系统级封装技术中硅通孔(through silicon via,TSV)阵列密度日益增加的问题,提出了一种新型的椭圆柱TSV结构以及相应的GS(地—信号)传输结构。建立这一新型传输结构的等效电路模型,提取其电阻、电感和电容等元件参数。分 |
| 《北京信息科技大学学报(自然科学版)》 2016,31(01):10-16 |
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