| 微波等离子清洗机的研制 |
| 张峰;王大伟; |
| 关键词：集成电路;静电损伤;微波等离子;引线键合 |
| 主要内容：微波等离子清洗作为一种绿色无污染的高精密干法清洗方式,可以有效去除表面污染物,避免静电损伤。简述了微波等离子清洗的原理及特点,介绍了设备的构成、清洗工艺和模式,对微波导入和微波源与负载的匹配两个关键技术进行了研究;通过工艺验证,微波等离子清 |
| 《电子工业专用设备》 2016,45(10):6-9 |
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