| 微电子工艺与器件实验平台建设 |
| 邹继军;彭新村; |
| 关键词：电子科学与技术;微电子工艺与器件;实验平台 |
| 主要内容：本文结合我校实际情况,对微电子工艺与器件实验平台建设的意义、建设的方案及平台的功能与特点进行了描述。该实验平台已在教学实践中得到成功应用,其建设经验对普通院校电子科学与技术专业实验室建设具有一定的借鉴作用。 |
| 《电气电子教学学报》 2016,38(04):133-134+147 |
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