| 微纳加工技术的优势及其在电子器件领域中的应用研究 |
| 罗全伟; |
| 关键词：微纳加工技术;优势;电子器件领域;应用 |
| 主要内容：微纳加工技术在集成电路技术的应用中占据着重要的地位,为了满足相关工业领域的要求,需要寻找出新透镜、短光源、高精度的加工技术,而微纳加工技术就是其中的首选。本文主要针对微纳加工技术在微纳电子器件领域的应用进行分析。 |
| 《通讯世界》 2016,(23):84 |
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