| 微纳米结构的电驱动模塑成形工艺及其界面物理行为研究 |
| 李祥明;丁玉成;邵金友; |
| 关键词：纳米压印技术;成形工艺;纳米结构;模塑; |
| 主要内容：纳米压印技术具有低成本、高效率、高分辨率的优势,被国际半导体技术路线图(I T R S)列为22n m以下节点集成电路制造的候选技术之一,被工业界寄予了厚望。尽管纳米压印理论上可以等比例复制任意模板结构,但是压印载荷的存在会引起纳米结构变形 |
| 《金属加工(冷加工)》 2016,(01):88 |
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