产业集群决策
 
钨(W)台阶覆盖填充能力的研究
 
李飞;
关键词：钨(W);接触孔;通孔
 
主要内容：本文根据钨(W)的相关特性,对其与工艺的影响和关系进行了研究,通过实验并分析证实了钨(W)在接触孔或通孔的填充能力与相关工艺条件存在着一定的相关性。
 
《电子技术与软件工程》  2016,(10):110-111
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