| 一种Wafer Map文件读取解析算法的研究 |
| 霍杰;张克佳;崔洁; |
| 关键词：WaferMap解析;WaferMap算法;饼图 |
| 主要内容：目前各生产厂使用的晶圆图谱(WaferMap)文件类型多种多样,对WaferMap文件的读取产生很大困难。常规解决办法是针对每种文件类型,编写不同的程序算法进行读取。这种情况下每出现一种新WaferMap类型文件,就需要软件添加程序,用于读 |
| 《电子工业专用设备》 2016,45(10):10-13+37 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
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