| 一种低频RFID晶圆并行测试系统设计 |
| 都平;景为平; |
| 关键词：晶圆测试;射频识别(RFID);现场可编程门阵列(FPGA);通用接口总线(GP |
| 主要内容：针对低频射频识别(RFID)晶圆测试中耗时久、效率低的问题,设计了一种32通道并行测试系统。系统基于32通道垂直探针卡,采用直接耦合方式,达到芯片实际工作条件。利用现场可编程门阵列(FPGA),实现测试向量的快速生成和信号解码的高速处理。通 |
| 《半导体技术》 2016,41(11):864-868 |
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