| 一种新的硅MEMS陀螺仪四相位闭环集成驱动电路 |
| 龙善丽;唐兴刚;童紫平; |
| 关键词：MEMS陀螺仪;四相位驱动;角速度检测;锁相环;信噪比 |
| 主要内容：微机械陀螺的闭环驱动电路中通常采用两相位同频信号维持驱动环路谐振,但系统引入误差较大。提出了一种新的硅微机械陀螺四相位驱动系统,将四相位半频驱动电压加载到具有四组驱动电极的结构上,使系统维持在谐振频率上。采用该驱动电路,耦合到输出端的干扰信 |
| 《微电子学》 2016,46(06):792-795 |
| 全文下载请进入http://hightech.stlib.cn/tpi_1/sysasp/include/index.asp |
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