| 一种新型双重图形技术拆分方法 |
| 于丽贤;粟雅娟;韦亚一; |
| 关键词：光刻;双重图形技术(DPT);图形拆分;光学临近效应修正(OPC);奇数周期 |
| 主要内容：基于奇数周期理论,提出一种新型快速高效率的双重图形技术(DPT)拆分方法。对于图形拆分过程中遇到的剩余违规冲突问题,分析其存在的原因,阐述了已知解决途径;基于奇数周期理论,详细阐述了新型图形拆分方法的实现步骤,该方法主要适用于未在设计阶段考 |
| 《微纳电子技术》 2016,53(04):259-264 |
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