| 应用材料公司选择性材料技术带来蚀刻工艺新突破 |
| 关键词：蚀刻工艺;逻辑;新突破;应用材料公司;存储芯片; |
| 主要内容：应用材料公司近期取得了蚀刻技术的新突破,推出业内首款极致选择性蚀刻工具Applied Producer~ Selectra~(TM)系统,通过引入全新的材料工程能力,助力3D逻辑芯片和存储芯片的尺寸持续缩小。"生产先进芯片的一个重要壁垒是 |
| 《电子工业专用设备》 2016,45(07):51-52 |
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